PL mostró que las picaduras aparecieron después de la difusión, que se redujeron considerablemente después del grabado y la limpieza, y la proporción de picaduras después de la oxidación aumentó significativamente, alcanzando más del 95%.

Sospechas:

1. La oxidación amplificará las picaduras producidas en la sección frontal;

2. Las marcas de viruela se generan por la contaminación desde después del grabado hasta antes de ALD;

La oxidación amplifica las picaduras en el segmento anterior.

1.Desempolvar antes de la difusión (EL sin puntos negros)

2. La apariencia de los puntos en la parte posterior del grabado es anormal (la posición de los puntos negros EL no puede corresponder)

contaminación del medio ambiente

Después del grabado, se coloca en un ambiente de partículas de polvo a 10W+ durante 2H; Proporción: 15%Después del grabado, se coloca en un ambiente con partículas de polvo por debajo de 1000 durante 2H; Proporción: 8%0,01% del tiempo de producción del ciclo normal

Los residuos de la correa del oxidante pueden levantarse debido a la purga de aire.

Se mejoran los defectos de los puntos negros.