1. Tecnología de recubrimiento TOPCon PE-poli

La tecnología de recubrimiento PE-poli (deposición de polisilicio mejorada con plasma), el nombre completo del método de deposición química de vapor mejorada con plasma, es una tecnología de proceso central clave para las baterías TOPCon que integra películas compuestas como una capa de túnel y una capa de Poly-Si dopada in situ. Se deposita una capa de óxido de túnel de 1 a 2 nm en la parte posterior y luego se deposita una capa de polisilicio de 60 a 100 nm para formar una estructura de pasivación, que actúa como una capa de transporte para la parte posterior o la región dopada localmente.

2. Ventajas y desventajas del revestimiento de polietileno TOPCon PE

El proceso de dopaje in situ de esta tecnología puede lograr el efecto de dopaje con fósforo de alta concentración, que favorece el adelgazamiento de la capa de Poly-Si, y PECVD puede lograr una reducción sustancial de costos. Tiene las ventajas de un ligero recubrimiento, alto rendimiento, rápida velocidad de formación de película, alta eficiencia de dopaje, sin tubo de cuarzo y bajo costo de consumibles. Sin embargo, existen algunos problemas, como una mala uniformidad del espesor de la película, una baja densidad de la capa de la película y una película explosiva, porque el hidrógeno está involucrado en la reacción.

3. Principio del proceso de recubrimiento TOPCon PE-poli

En la producción de células solares tipo N, el proceso PECVD se utiliza principalmente para depositar películas de nitruro de silicio (SiNx) y otras capas de pasivación o películas conductoras. El proceso específico consiste en introducir fuentes de gas como silano SiH4 y amoniaco NH3 en la cámara de reacción en condiciones de bajo vacío. Bajo la acción del plasma de alta frecuencia, las moléculas de gas se activan y descomponen. Luego se produce una reacción química en la superficie de la oblea de silicio enfriada para formar una película homogénea de nitruro de silicio con excelentes propiedades ópticas y eléctricas. Esta película puede reducir el efecto de fotoatenuación, mejorar la absorción de la luz solar por la batería y reducir la pérdida por recombinación de la superficie, mejorando así la eficiencia de la batería.

4. Punto de control central del proceso de recubrimiento TOPCon PE-poli

① Control de proporción y pureza del gas:

La pureza y la proporción de mezcla del gas se regulan con precisión para garantizar que la composición de la película sea precisa, lo que a su vez afecta su índice de refracción, transmitancia y propiedades electrónicas.

② Presión y temperatura de la cámara:

Al ajustar la presión en la cámara y la temperatura del sustrato, se puede controlar la tasa de crecimiento y la uniformidad del espesor de la película, así como también se puede optimizar la calidad de cristalización de la película.

③ Entrada de energía del plasma:

Controlar con precisión la entrada de energía del plasma a través de fuentes de alimentación de microondas o radiofrecuencia contribuye a la formación de películas estructuralmente estables y de alto rendimiento.

④ Monitoreo de calidad y espesor de la película:

El proceso de deposición se monitorea en tiempo real y las propiedades ópticas y eléctricas de la película se detectan estrictamente para garantizar que se cumplan los requisitos preestablecidos.