Oblea de mono silicio tipo N M6

Oblea de silicio tipo N VS. Oblea de silicio tipo P

Una oblea tipo p suele estar dopada con boro, aunque también se puede utilizar galio (raro). Las obleas P+ están fuertemente dopadas y normalmente tienen resistencias de <1 ohmio/cm². Las obleas P+ se utilizan a menudo para sustratos Epi. Las obleas P están ligeramente dopadas con resistencias típicas de >1 ohmio/cm.². Las orientaciones de cristal más comunes para las obleas tipo P son {100} y {111}.

Las obleas tipo N están dopadas con fósforo, antimonio o arsénico. Las obleas N+ están fuertemente dopadas con resistencias <1 ohmio/cm². Las obleas N están ligeramente dopadas con resistencias >1 ohmios/cm.². La resistividad es muy importante para los buenos dispositivos electrónicos y para el crecimiento uniforme de óxidos térmicos. El silicio de alta resistividad solo se puede producir utilizando el método de crecimiento de cristales de Zona Flotante (FZ), que no utiliza un crisol durante el crecimiento de cristales. El método Czochralski (CZ) utiliza un crisol de cuarzo durante el crecimiento del cristal, y el oxígeno del crisol impregna involuntariamente el material. El dopante de oxígeno se comporta como una impureza de tipo n e impide una alta resistividad. El material tipo n de baja resistividad se logra mediante dopaje con arsénico.

Estándares utilizados para medir la calidad de las obleas

1.Limpieza

1. Defectos del punto de luz (LPD): partículas no deseadas en la superficie de la oblea.

2. Partículas medidas por el número total encontradas en un área determinada de la oblea. Se aplican algunas exclusiones de bordes.

2.Planaridad

1. Variación de espesor total (TTV): diferencia absoluta de espesor entre las partes más gruesas y más delgadas de la oblea. Un valor típico en una oblea de 8" sería inferior a 15 um.
2. Deformación: la diferencia entre los valores mínimo y máximo de la superficie de la oblea medida desde un plano de referencia (generalmente la parte posterior de la oblea). Las desviaciones incluyen variaciones tanto cóncavas como convexas. Warp es una propiedad masiva. Un buen número de deformación en una oblea de 8" es inferior a 20 um.

3.Lectura total indicada global (GTIR) — Desviación máxima de pico a valle de una oblea respecto de un plano de referencia determinado (a menudo, la parte posterior de la oblea).

4.TIR del sitio - similar a GTIR excepto en sitios más pequeños en oblea. El TIR del sitio puede ser un parámetro de mayor importancia que el TIR global al resolver geometrías submicrónicas. 

5.Arco - Concavidad o deformación de la oblea medida desde el centro independiente de cualquier variación de espesor. Bow es una propiedad a granel. Un buen arco en una oblea Prime de 8" es de menos de 30 um.

Parámetros geométricos

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